{"id":43484,"date":"2026-04-30T06:31:25","date_gmt":"2026-04-30T04:31:25","guid":{"rendered":"https:\/\/plas.tv\/?p=43484"},"modified":"2026-04-24T10:32:49","modified_gmt":"2026-04-24T08:32:49","slug":"hoechste-reinheit-auf-langen-wegen-mit-neuartiger-reinraum-energiefuehrungsloesung","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/plas.tv\/?p=43484","title":{"rendered":"H\u00f6chste Reinheit auf langen Wegen mit neuartiger Reinraum-Energief\u00fchrungsl\u00f6sung"},"content":{"rendered":"

Die C6-Reinraumenergiekette mit neuem e-spin F\u00fchrungssystem erm\u00f6glicht abriebfestes Verfahren auf bis zu 30 m und erh\u00e4lt ISO Klasse 1 des Fraunhofer IPA<\/strong><\/p>\n

Ob in der Mikroelektronik, der Halbleiter- oder der Batteriefertigung, \u00fcberall geht es um Partikelfreiheit und maximale Prozesssicherheit. Mit steigender Automatisierung und stetig wachsenden Anlagen, werden auch die Wege f\u00fcr den Materialtransport l\u00e4nger. Eine zentrale Herausforderung dabei ist, eine zuverl\u00e4ssige Energie- und Datenversorgung bei minimaler Partikelemission zu gew\u00e4hrleisten. Stromschienen \u00fcbertragen keine Daten, Energieketten brauchen meist komplexe Absaugsysteme f\u00fcr Mikropartikel. Mit der vom Fraunhofer IPA nach ISO Klasse 1 zertifizierten C6<\/strong>\u2011 Energiekette in Kombination mit dem neuen e<\/strong>\u2011spin Obertrumf\u00fchrungsrad bietet igus hierf\u00fcr jetzt eine L\u00f6sung. Das System erm\u00f6glicht eine kompakte und langlebige Energief\u00fchrung in Reinr\u00e4umen \u2013 auch auf Verfahrwegen bis zu 30\u00a0m.<\/strong><\/p>\n

In modernen Halbleiterfabriken durchlaufen Siliziumwafer zahlreiche Prozessschritte \u2013 von der Lithografie \u00fcber das \u00c4tzen bis hin zur Metallisierung. Aufgrund der strengen Anforderungen an Sauberkeit und Partikelfreiheit ist ein manueller Transport innerhalb des Reinraums nicht praktikabel. Stattdessen \u00fcbernehmen immer h\u00e4ufiger automatisierte Systeme den sicheren und effizienten Transport der Wafer-Kassetten \u00fcber lange Strecken. Zum Beispiel per Overhead Hoist Transport (OHT), ein Schienensystem, das die Kassetten unter der Decke bewegt. Das spart zwar Reinraumfl\u00e4che, stellt Konstrukteure aber vor eine Herausforderung: die Versorgung des OHT mit Strom und Daten. \u201eStromschienen \u00fcbertragen keine Daten und sind wartungsintensiv. Energieketten ben\u00f6tigen meist eine komplexe Absaugvorrichtung f\u00fcr Partikel. Der Bedarf an einer reinraumtauglichen, langlebigen und kosteng\u00fcnstigen Alternative ist in der Branche entsprechend gro\u00df\u201c, erkl\u00e4rt Kira Weller, Produktmanagerin e-ketten und Reinraum-Expertin bei igus.<\/p>\n

Rollen statt Gleiten mit neuem e-spin F\u00fchrungssystem<\/strong>
\nUm das Dilemma zu l\u00f6sen, hat igus f\u00fcr die C6-Reinraumenergiekette ein besonderes F\u00fchrungssystem namens e-spin entwickelt. Dabei handelt es sich um F\u00fchrungsr\u00e4der, die wie alle igus Energieketten aus tribologisch, sprich auf Reibung und Verschlei\u00df, optimiertem Hochleistungskunststoff bestehen. Die R\u00e4der sitzen zwischen Ober- und Untertrum der Energiekette. Die Kettenteile rollen dadurch aufeinander, statt zu gleiten \u2013 und das ohne weitere Partikelemission. \u201eDie Energieketten lassen sich dank des e-spin Systems ohne Absaugeinheit in der Produktion innerhalb eines Reinraums nutzen. Konstrukteure reduzieren so bei der Energief\u00fchrung von Transportsystemen die Komplexit\u00e4t und sparen dabei Kosten\u201c, sagt Kira Weller. Konfigurieren l\u00e4sst sich das Energiekettensystem zeitsparend \u00fcber den e-ketten Experten <\/a>auf der Website von igus. Gleichzeitig ist das System aus C6-Energiekette und F\u00fchrungsr\u00e4dern durch den eingesetzten Hochleistungskunststoff abriebfest, wartungsarm und besonders langlebig. Labortests in Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IPA best\u00e4tigen: Das System erreicht bei einer Geschwindigkeit von 0,5 m\/s die h\u00f6chste Reinraumklasse ISO 1. Technische Grenzen m\u00f6chte igus in Zukunft hinsichtlich h\u00f6herer Geschwindigkeiten und l\u00e4ngerer Verfahrwege weiter verschieben.<\/p>\n

Mehr Informationen zu den Reinraum-L\u00f6sungen von igus finden Sie hier:\u00a0https:\/\/www.igus.de\/branchen\/reinraum<\/a><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

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